■特長
・半導体材料ガスの微量なガス漏れを検知。
・ガス濃度の変化により、警報音（断続音）のスピードが徐々に変化し高濃度になると
連続音でお知らせするのでガス漏れ箇所の特定が容易。
■用途
・半導体工場等毒性ガスを使用する現場で、ガス漏洩検査に。
■仕様
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型式
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XP-703D
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検知対象ガス
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半導体材料ガス（アルシン、ホスフィン、ジボラン、シランなど）
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ガス採気方式
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自動吸引式
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検知原理
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熱線型半導体式
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アルシン
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ホスフィン
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ジボラン
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シラン
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水 素
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検知可能
漏洩量
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1.0×10－7
Pa・m3/s
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1.5×10－7
Pa・m3/s |
0.5×10－7
Pa・m3/s |
2.5×10－7
Pa・m3/s |
5×10－7
Pa・m3/s |
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検知可能濃度
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0.2 ppm
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0.3 ppm |
0.1 ppm |
0.5 ppm |
1.0 ppm |
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応答時間
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10秒
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表示方式
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ブザー音の断続およびランプの点滅
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電源※1
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単3形マンガン乾電池4本
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連続使用時間
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アルカリ乾電池使用時：約9時間
マンガン乾電池使用時：約3時間
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使用温度範囲
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0℃～40℃
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外形寸法
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W68×H155×D32mm
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重量
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約400g
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標準付属品
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レザーケース、ドレンフィルタ、フィルタエレメント、点検ガス
標準アタッチメント、単3形マンガン乾電池4本
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オプション
（別途御見積）
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Ni-Cd電池専用充電器、イヤホン
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