半導体材料ガス用ガスリークディテクタ
XP-703D


定価 151,800円(税込)
特価 134,340円(税込)


【特 長】
 ●半導体材料ガスの微量なガス漏れを検知。
 ●ガス濃度の変化により、警報音(断続音)のスピードが徐々に変化し高濃度になると
  連続音でお知らせするのでガス漏れ箇所の特定が容易。

【用 途】
 ・半導体工場等毒性ガスを使用する現場で、ガス漏洩検査に。

【仕 様】

型 式
XP-703D
検知対象ガス
半導体材料ガス(アルシン、ホスフィン、ジボラン、シランなど)
ガス採気方式
自動吸引式
検知原理
熱線型半導体式
 
アルシン
ホスフィン
ジボラン
シラン
水 素
検知可能
漏洩量
1.0×10−7
Pa・m3/s
1.5×10−7
Pa・m3/s
0.5×10−7
Pa・m3/s
2.5×10−7
Pa・m3/s
5×10−7
Pa・m3/s
検知可能濃度
0.2 ppm
0.3 ppm 0.1 ppm 0.5 ppm 1.0 ppm
応答時間
10秒
表示方式
ブザー音の断続およびランプの点滅
電 源※1
単3形マンガン乾電池4本
連続使用時間
アルカリ乾電池使用時:約9時間
マンガン乾電池使用時:約3時間
使用温度範囲
0℃〜40℃
外形寸法
W68×H155×D32mm
重 量
約400g
標準付属品
レザーケース、ドレンフィルタ、フィルタエレメント、点検ガス
標準アタッチメント、単3形マンガン乾電池4本
※1 アルカリ電池、Ni-Cd電池も使用可能。